国家/地区 美国(44) 韩国(34) 日本(30) 世界知识产权组织(26) 中国(20) 欧洲专利局(EPO)(14) 台湾(8) 印度(5) 墨西哥(4) 俄罗斯(4) 加拿大(2) 德国(2)
IPC部 H(81) C(33) B(32)
G(12)
IPC大类 H01(81) C01(30) B82(26)
C23(14) B05(12) B32(11)
G11(6) H05(5) C09(4)
C30(4) C07(3) G01(3)
G06(3) B44(2) C03(2)
IPC小类 H01L(81)
IPC C01B031/02(24) C01B031/04(18) B82Y030/00(15)
H01L029/786(15) H01L029/16(13) B82Y040/00(12)
H01L021/20(12) H01L021/02(10) H01L031/042(10)
B05D005/12(9) H01B001/04(9) H01L021/205(9)
H01L021/336(9) H01L029/06(9) H01L029/78(8)
发明人 AHN J H(3) HONG B H(3) KONDO D(3)
SATO S(3) SONG Y I(3) VEERASAMY V(3)
VEERASAMY V S(3) AKSAY I A(2) AKSAY L A(2)
CHO S M(2) CHOI J(2) CHOI J W(2)
CRAIN J M(2) DUVALL S G(2) HAQUE S(2)
公开年 2010(37) 2011(30) 2009(13)
申请年 2009(81)
专利权人 SAMSUNG ELEC.(4) CHINESE ACAD.(3) FUJITSU LTD(3) GUARDIAN GLA.(3)
GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3) INT BUSINESS.(3) SAMSUNG TECH.(3)
UNIV SUNGKYU.(3) AKSAY I A(2) CARBEN SEMIC.(2) CRAIN J M(2)
HGST NETHERL.(2) HITACHI GLOB.(2) HITACHI LTD(2) HITACHI MAXE.(2)
KOREA ADV IN.(2) KORKUT S(2) LETTOW J S(2) NEC CORP(2)